“炸了?哈哈哈,活该!”师兄张伟第一个没忍住,笑出了声,“我就说他们那套缝合怪的理论行不通,这下好了!”
“老赵这回可栽了个大跟头。”钱立人教授也忍不住摇头,语气里带着几分幸灾乐祸。
付成却笑不出来。他眉头微皱,意识到问题没那么简单。
秦雪的方案虽然有理论缺陷,但还不至于导致反应室爆炸。
p技术非常成熟,最多就是性能不稳定,刻蚀效果差。
会爆炸,只有一种可能——她们为了在短时间内拿到漂亮的样品数据,去参加评审会,疯狂地提高了射频功率和磁场强度。
简单粗暴地“大力出奇迹”,结果就是系统过载,能量失控,最终导致了这场事故。
秦雪这个人,太好强,也太心急了。
“看来,后天的评审会,她们是参加不了了。”陈默推了推眼镜,下了结论。
“岂止是参加不了,”钱立人冷哼一声,“出了这么大的安全事故,赵汝成这个项目负责人,少不了一个处分。秦雪作为直接操作人,估计毕业都悬了。这叫偷鸡不成蚀把米。”
“好了,别管他们了。”付成将众人的注意力拉了回来,他扬了扬手中的那封邀请函,“现在,我们的战场不在这里了。在这里。”
所有人的目光都聚焦到那封来自国家科委的邀请函上。
“青年学者前沿科技闭门研讨会……”钱立人念着这个名字,神情变得无比严肃,“这可不是闹着玩的。能去那里的,都是各个领域的顶尖专家和未来的希望。我们这个连原型机都还没影儿的项目,拿什么去跟人家交流?”
“就拿这个去。”付成指着那张完美的仿真图,“理论,就是我们目前最强的武器。我们的‘解耦’思想,在理论层面是自洽的,是领先的。这就够了。”
他看着众人,一字一句地说道:“这次研讨会,我们要把我们的想法毫无保留地展示给所有人看!我们要告诉他们,华夏的半导体工艺,除了跟在别人屁股后面模仿,还有第二条路可以走!”
接下来的几天,整个课题组都异常忙碌。
钱立人负责撰写项目的理论综述,把“脉冲多极磁场约束等离子体”的内核思想,用最严谨的学术语言阐述出来。
张伟和孙涛负责绘制原型机的三维结构图和模块化电源的设计图。
而付成和陈默,则在机房里,不眠不休地进行着各种极限条件下的仿真,以获取更全面的数据,来支撑他们的理论。
付成甚至再次动用了系统的“知识推演”功能。
他将自己剩馀的青睐值积分全部投入,兑换了整整5个小时的“等离子体物理”和“高能物理”领域的深度推演。
在推演中,他不仅进一步完善了“防漏补丁”算法,甚至还受到了核聚变研究中“托卡马克设备”的启发,构想出一种环形的、更加稳定的磁场约束模型。
当他把这些超前的构想写在纸上时,连系统都弹出了一条提示:【宿主正在尝试触及当前科技树的未知领域,请注意理论与现实工程能力的匹配度。】
付成只是笑了笑。他知道,饭要一口一口吃。但站在巨人的肩膀上,他必须看得比所有人都远。
一周后,西山宾馆。
这里是燕京着名的国宾馆之一,环境清幽,安保森严。
付成和钱立人教授一落车,就有专人引导他们进入会场。
研讨会在一个不对外开放的小礼堂举行。
礼堂不大,只坐了不到五十人。
但这些人,随便拎出一个,都是国内相关领域的权威。
付成甚至看到了几位只在教科书封面上见过的院士。
付成和钱立人被安排在第二排。
他环顾四周,很快就在角落里找到了一个熟悉的身影——叶文洁。
她今天没有穿平时的学生装,而是穿了一件得体的白衬衫,长发简单地束在脑后,显得愈发清冷干练。
她也在看他,目光交汇时,她微微点了点头。
研讨会开始了。
一位头发花白的领导简单致辞后,各个项目组开始轮流上台报告。
有研究新型合金材料的,有攻关生物基因工程的,还有设计新一代运载火箭发动机的……
每一个项目,都代表了华夏科技的最高水平和未来方向。
付成听得心潮澎湃,也感到了前所未有的压力。
跟这些项目比起来,他们那个连零件都还没凑齐的课题组,实在太“寒酸”了。
终于,轮到他们了。
“下一位报告人,华清大学精密仪器系,钱立人教授。报告题目:《一种基于脉冲多极磁场解耦控制的等离子体刻蚀技术新构想》。”
钱立人教授深吸一口气,走上讲台。
他先从宏观上介绍了国内半导体产业的困境,以及传统刻蚀技术的瓶颈。
随后,他话锋一转:“面对这些困难,我们课题组,提出了一条全新的技术路线。具体的理论模型和仿真结果,将由我们课题组的内核成员,付成同学,来向大家介绍。”
付成坦然地走上讲台,没有丝毫的紧张。他将一张张仿真图和数据表,通过投影仪展示在幕布上。
“……传统的p和icp技术,其内核矛盾在于等离子体密度与离子能量的耦合。也就是说,你想提高刻蚀速率,就必须增加功率,但这同时也会提高离子轰击能量,损伤晶圆。我们称之为‘左脚踩右脚’的困境。”
“而我们的方案,内核思想只有一个词——解耦。”
“我们通过外部施加的高速脉冲多极磁场,将等离子体‘抓’起来,约束在一个特定局域。同时,我们通过独立控制晶圆基座的射频偏压,来精确调节轰击晶圆的离子能量。这就好比,我们用一只手控制‘子弹’的数量,用另一只手控制每一颗‘子弹’的威力。两只手,互不干扰,独立调节……”
台下的专家们,都是顶级聪明人,立刻就听懂了这套“解耦”思想的颠复性所在。
报告结束后,坐在第一排的一位戴着金丝眼镜的老院士,率先举起了手。
“小同志,我有一个问题。你的理论非常精彩,但磁场约束等离子体,是核聚变领域才用的技术,极不稳定。你们如何解决‘磁镜象效应’和‘漂移不稳定性’带来的等离子体逃逸问题?”
付成微微一笑,按下了投影仪的下一页。
幕布上,出现了一套复杂的、基于“二级绝热不变量”的约束方程。
“这位前辈,您问得非常好。这个问题的答案,我们要感谢一位物理学天才的启发。”他看了一眼角落里的叶文洁,“我们并没有试图完全‘消灭’逃逸,而是通过这套‘动态校正算法’,在每个仿真步长中,对逃逸概率进行补偿。就象一个水桶,我们不是把所有的洞都堵死,而是在旁边放了一个水龙头,漏多少,就补多少,从而实现一种动态的平衡……”
他的回答,让那位老院士露出了满意的笑容。
然而,就在这时,会场后排,一个声音响了起来。
“理论说得天花乱坠,仿真图画得再漂亮,也只是纸上谈兵。请问付成同学,你们的原型机在哪里?你们的实验数据在哪里?据我所知,你们连一块象样的晶圆都没刻出来过吧?”
付成循声望去,只见华清大学行政总办的王副主任,正抱着手臂,一脸讥讽地看着他。
王副主任身边,还坐着一个西装革履的中年人,眼神锐利。付成注意到,他的胸牌上写着——东方工业集团,投资部总监,刘胜利。
刘进的亲戚?付成心里一动。
王副主任见付成不语,笑得更得意了:“各位专家领导,据我了解,这个项目连学校的正式立项都还没通过,经费都还没拿到。一个连学校内部都无法取得共识的‘构想’,就拿到国家级的研讨会上来,是不是太儿戏了?这不是在浪费各位宝贵的时间吗?”
会场里,开始响起窃窃私语。
是啊,没有实物,没有数据,说得再好听,也只是空中楼阁。
就在这尴尬的时刻,礼堂的大门突然被推开了。
一个穿着军绿色旧大衣,身材高大,面容坚毅的老者,在一群人的簇拥下,大步走了进来。
“谁说这个项目没有得到支持?”老者的声音洪亮如钟,“我今天来,就是要告诉大家,这个项目,我们军工‘863’计划的专家组,原则上通过了!”
他转向付成,露出一丝微笑。
“付成同志,还记得我吗?我是马智文的老领导,陈建国。”